Аргон в основном используется для продувки, отжига, распыления и ионного травления, а также как инертный газ для вытяжки кристаллов кремния.
Аргон в основном используется для продувки, отжига, распыления и ионного травления, а также как инертный газ для вытяжки кристаллов кремния.