Газовые смеси моносилана (SiH4) применяют для получения эпитаксиальных, поликристаллических и диэлектрических слоев и пленок.
Показатели качества компонентов стандартных смесей | Моносилан | Водород | Аргон | |||
---|---|---|---|---|---|---|
Основное вещество | >99,99 % | >99,999 % | >99,9999 % | >99,99999 % | >99,998 % | >99,999 % |
Кислород | O2+Ar < 1 ppm |
O2+Ar < 0,1 ppm |
O2+Ar 0,2 ppm |
O2+Ar 20 ppb |
2 ppm | 2 ppm |
Азот | < 5 ppm | < 2 ppm | 0,5 ppm | 50 ppb | 10 ppm | 3 ppm |
Вода | — | < 0,1 ppm | 2 ppm | 0,2 ppm | 3 ppm | 3 ppm |
Метан | < 1 ppm | < 0,1 ppm | 0,3 ppm | 30 ppb | 1 ppm | 0,5 ppm |
Диоксид углерода | < 1 ppm | < 0,1 ppm | — | — | 0,2 ppm | 0,2 ppm |
Водород | < 50 ppm | < 10 ppm | — | — | 2 ppm | 2 ppm |
Оксид углерода | < 1 ppm | < 0,1 ppm | — | — | — | — |
Хлорсиланы | < 10 ppm | < 1 ppm | — | — | — | — |
Углеводороды C2-C4 | < 1 ppm | < 1 ppm | — | — | — | — |
Металлы | < 1 ppb | < 1 ppb | — | — | — | — |
Возможно использование компонентов иной чистоты, а также других газов разбавителей по индивидуальному заказу.
Продукция соответствует ТУ 2114-001-16424433-99 с изм. 1, 2