Газовые смеси моносилана с аргоном/водородом

Газовые смеси моносилана (SiH₄) применяют для получения эпитаксиальных, поликристаллических и диэлектрических слоев и пленок.

Характеристики компонентов смесей
Показатели качества компонентов стандартных смесей	Моносилан		Водород		Аргон
Основное вещество	>99,99 %	>99,999 %	>99,9999 %	>99,99999 %	>99,998 %	>99,999 %
Кислород	O2+Ar < 1 ppm	O2+Ar < 0,1 ppm	O2+Ar 0,2 ppm	O2+Ar 20 ppb	2 ppm	2 ppm
Азот	< 5 ppm	< 2 ppm	0,5 ppm	50 ppb	10 ppm	3 ppm
Вода	—	< 0,1 ppm	2 ppm	0,2 ppm	3 ppm	3 ppm
Метан	< 1 ppm	< 0,1 ppm	0,3 ppm	30 ppb	1 ppm	0,5 ppm
Диоксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	—	—	0,2 ppm	0,2 ppm
Водород	< 50 ppm	< 10 ppm	—	—	2 ppm	2 ppm
Оксид углерода	< 1 ppm	< 0,1 ppm	—	—	—	—
Хлорсиланы	< 10 ppm	< 1 ppm	—	—	—	—
Углеводороды C2-C4	< 1 ppm	< 1 ppm	—	—	—	—
Металлы	< 1 ppb	< 1 ppb	—	—	—	—

Возможно использование компонентов иной чистоты, а также других газов разбавителей по индивидуальному заказу.

Продукция соответствует ТУ 2114-001-16424433-99 с изм. 1, 2